TESCAN MAIA3分(fēn)析用掃描電(diàn)子顯微鏡

TESCAN MAIA3分(fēn)析用掃描電(diàn)子顯微鏡

MAIA3是新開(kāi)發的分(fēn)析用掃描電(diàn)子顯微鏡，它可以得到在15kV下(xià)1nm的超高分(fēn)辨率。采用二次電(diàn)子信号，在1kV下(xià)分(fēn)辨率爲1.4nm。此型号電(diàn)鏡配備肖特基場發射電(diàn)子槍，以及TESCAN先進的三透鏡電(diàn)子光學系統。

相比于常規物(wù)鏡，它采用了TESCAN*構造的60度磁浸沒物(wù)鏡，它能顯著地減小(xiǎo)光學像差，在低電(diàn)壓下(xià)依然有着超高的分(fēn)辨率。另外(wài)，添加的中(zhōng)磁透鏡可以和物(wù)鏡同時使用或者代替物(wù)鏡觀察，以提供多種顯示模式。

zui重要的特性：

u  具有非凡分(fēn)辨率的單極60度角物(wù)鏡；

u  無場模式用于磁性樣品的觀察；

u  高亮度肖特基電(diàn)子槍可得到高分(fēn)辨率/高束流/低噪聲的圖像；

u  鏡筒中(zhōng)的In-Beam二次電(diàn)子探測器用于小(xiǎo)工(gōng)作距離(lí)條件下(xià)二次電(diàn)子的檢測；

u  *的三透鏡大(dà)視野觀察設計，提供了多種工(gōng)作模式和顯示模式，體(tǐ)現了TESCAN專有中(zhōng)間透鏡（IML）的功能；

u  實時電(diàn)子束追蹤技術，可模拟和進行束斑優化，包括直接和連續控制電(diàn)子束束斑和束流大(dà)小(xiǎo)；

u  電(diàn)子束減速模式在低電(diàn)壓下(xià)獲取優秀的分(fēn)辨率(選配)；

u  In-Beam背散射電(diàn)子探測器用于小(xiǎo)工(gōng)作距離(lí)的背散射電(diàn)子成像；

u  成像速度快；

u  高通量大(dà)面積自動化，例如自動顆粒分(fēn)布和分(fēn)析；

u  計算機優化、馬達驅動的樣品台；

u  利于EDX、EBSD分(fēn)析的理想幾何設計；

u  由于使用了強力的渦淪分(fēn)子泵和機械泵，因而可以快速簡單得到幹淨的真空樣品室；電(diàn)子槍的真空度由離(lí)子泵來維持；

u  包括電(diàn)子光學設置和校準的全自動顯微鏡設置；

u  完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分(fēn)析；多用戶多語言操作界面；

u  網絡操作和内置的遠程控制/診斷是TESCAN的标準配置；

u  *的3維電(diàn)子束技術用于獲得實時立體(tǐ)圖像。

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袁文軍  +86-21-31255909    +86-21-      ：yuanwenjun@sunano.com.cn