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  • ICP-LP-PE-CVD多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)

    NextCVD等離(lí)子體(tǐ)改性及刻蝕多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)國内的電(diàn)感耦合等離(lí)子體(tǐ)都是基于中(zhōng)頻(pín)13.56MHz的電(diàn)源發生(shēng)器，等離(lí)子體(tǐ)密度較低，而且是螺旋管式，主要用于等離(lí)子體(tǐ)刻蝕，不适宜用于沉積高質量薄膜。

    訪問次數：1990
    産品價格：面議
    廠商(shāng)性質：生(shēng)産廠家
    更新日期：2021-09-24
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